ابحث في المحطة بأكملها

محلول التحكم في درجة الحرارة لمحلول تنظيف الرقاقات في صناعة أشباه الموصلات

مع التطور السريع لتكنولوجيا أشباه الموصلات ، أصبحت متطلبات الرقاقات أعلى وأعلى ، مما يجعل أسطح الويفر النظيفة أكثر وأكثر أهمية لتصنيع أجهزة أشباه الموصلات. في عملية تصنيع بسكويت الويفر ، يلزم التنظيف بعد كل خطوة من العملية.

في الوقت الحاضر ، غالبًا ما تحتاج طرق تنظيف وحفر الرقائق إلى إنشاء عدد كبير من هياكل الرش لرش المحاليل الكيميائية المختلفة على سطح الرقاقة للتنظيف والحفر ، مما يؤدي إلى معدل استخدام منخفض للمساحة. علاوة على ذلك ، نظرًا لعدم استقرار درجة حرارة محلول التنظيف ، ليس من السهل إنتاج تفاعل حفر كيميائي ثابت بدرجة حرارة عالية على سطح الرقاقة ، مما يضعف تأثير الحفر بشكل كبير.

قم بإزالة المناطق المكشوفة باستخدام عملية حفر كيميائية رطبة. يتم بعد ذلك نقل القناع المقاوم للضوء المتبقي إلى الطبقة السفلية باستخدام ، على سبيل المثال ، عملية الحفر الجاف. يتم بعد ذلك ملء التجاويف المتولدة في المادة بمواد غير موصلة (أكاسيد بشكل أساسي). يجب بعد ذلك إزالة نتوءات الأكسيد بدقة لكشف أسطح التلامس مرة أخرى لمزيد من العلاج. التالي هو الطبقة التالية.

تلعب درجة حرارة حمام النقش دورًا رئيسيًا في صناعة أشباه الموصلات. قد يكون الانحراف الأدنى لدرجات الحرارة لحمام النقش قد تسبب في عواقب وخيمة وجعل مجموعة الرقاقات بأكملها غير صالحة للاستعمال. لذلك ، لا يمكن استخدام سوى أنظمة التحكم في درجة الحرارة الآمنة عالية الدقة والفشل في المعالجة الكيميائية الرطبة. يجب أن يكونوا قادرين على الحفاظ بدقة على درجة الحرارة ضمن النطاق المستهدف والاستجابة بسرعة لانحرافات درجات الحرارة. بالإضافة إلى ذلك ، يجب عليهم استعادة درجة الحرارة الصحيحة لحمام النقش بسرعة عند استبدال محلول الحفر لضمان عملية إنتاج مستقرة.

تحكم دقيق في درجة الحرارة للعديد من العمليات في إنتاج أشباه الموصلات. في عدد لا حصر له تقريبًا من الخطوات الفردية ، يتم تطبيق طبقات رقيقة للغاية ومغطاة جزئيًا وإزالة الأجزاء المكشوفة بدقة مطلقة. يجب أن يظل حمام النقش ضمن نطاق درجة الحرارة المثلى للحفاظ على معدل نقش ثابت ويمكن التنبؤ به في عملية كيميائية رطبة. يتطلب ذلك استخدام حلول دقيقة تمامًا وموثوقة للتحكم في درجة الحرارة يتم معايرتها بشكل مثالي لتطبيقات كل منها.

لا يمكن لنظام التحكم في درجة الحرارة المتوازن تمامًا تحسين نتائج الإنتاج فحسب ، بل أيضًا تحسين موثوقية العملية وتقليل وقت الإنتاج والتكلفة والصيانة. سيسعد فريق الخبراء المتمرس والمدرب جيدًا في مجال التحكم في درجة حرارة العمليات في صناعة أشباه الموصلات بالإجابة على أسئلتك. بالطبع ، إذا لزم الأمر ، فسنقوم بتعديل حل التحكم في درجة الحرارة وفقًا لاحتياجاتك الشخصية.

لدينا نظام التبريد اختبار أشباه الموصلات سلسلة TES نطاق التحكم في درجة الحرارة - 85 درجة مئوية ~ 200 درجة مئوية ، والذي يستخدم للتبريد والتسخين باستخدام منضدة الاختبار. يمكن العثور على نماذج ومعلمات محددة في صفحة المنتج.

السابق: التالي:

التوصيات ذات الصلة

توسيع أكثر!