التحكم الدقيق في درجة الحرارة للعديد من العمليات في إنتاج أشباه الموصلات. قم بتطبيق طبقات رفيعة للغاية ، وقم بإخفاء القناع جزئيًا ، وقم بإزالة الأجزاء المكشوفة بدقة مطلقة في عدد غير محدود تقريبًا من الخطوات الفردية. يجب الاحتفاظ بأحواض الحفر ضمن نطاق درجة حرارة مثالية للحفاظ على معدلات الحفر ثابتة ومتوقعة في العمليات الكيميائية الرطبة. وهذا يتطلب استخدام حلول دقيقة للغاية وموثوقة للتحكم في درجة الحرارة.

التحكم في درجة حرارة حمامات الحفر من أجل التصنيع الكيميائي الرطب للرقائق والرقائق. التطبيقات الإضافية هي الاختبارات الوظيفية والمادية للمكونات الكهربائية والإلكترونية والمجموعات الوظيفية باستخدام السوائل الحرارية غير الموصلة مثل Galden أو FC77. لا يعمل نظام التحكم في درجة الحرارة المتوازن تمامًا على تحسين نتائج الإنتاج فحسب ، بل يزيد أيضًا من موثوقية العملية ويقلل من وقت الإنتاج والتكاليف والصيانة.